Участник проекта «Россия-Вьетнам» — ОАО «НИИПМ»

ОАО «НИИПМ»

Воронежский «Научно-исследовательский институт полупроводникового машиностроения» — один из ключевых представителей отрасли электронного машиностроения в Российской Федерации и старейшее предприятие-разработчик и изготовитель специального технологического оборудования для производства изделий микроэлектроники.
Исторически сложившаяся специализация института практически не изменилась за последние пятьдесят пять лет, и в таких направлениях, как фотолитография, химическая обработка пластин и фотошаблонов, синтез тонкопленочных покрытий, плазмохимическая обработка, контрольно-измерительное и контрольно-испытательное оборудование институт сохранил и преумножает научно-технический задел , занял лидирующие позиции и продолжает активно развиваться.
За годы работы институтом выполнено более тысячи научно-исследовательских и опытно-конструкторских работ, разработано более 500 образцов технологического, контрольно-измерительного и испытательного оборудования. Изготовлено 10 свыше тысяч единиц современного оборудования для оснащения предприятий радиоэлектронного комплекса .
ОАО «НИИПМ» сертифицировано по стандарту ISO 9001: 2008 и является членом Международной ассоциации участников космической деятельности МАКД / IASP. ОАО «НИИПМ» имеет лицензию на осуществление космической деятельности. В рамках совместного проекта с предприятиями Роскосмоса было разработано и изготовлено порядка 18 установок — это первое в России оборудование для сборки и квалификации солнечных батарей нового поколения .
Научно-производственная площадка ОАО «НИИПМ» включает в себя ряд отделов и лабораторий по разработке оборудования и технологий и производство, состоящее из нескольких цехов. Кадровый потенциал института — это 250 сотрудников Более, около половины которых заняты научной, конструкторской и технологической работой. Среди них доктора и кандидаты наук, инженерно-технические работники.
Оборудование фотолитографии стало одним из приоритетных направлений в НИИПМ еще в 1968 г., когда после успешной разработки первой автоматической однотрековой линии фотолитографии НИИПМ был назначен головным предприятием в министерстве по разработке фотолитографического оборудования. Институт не только оснащал предприятия микроэлектроники прогрессивным высокопроизводительным оборудованием , но и успешно разрабатывал типовые технологии процессов фотолитографии. До сих пор данное направление сохраняет динамику своего развития , создавая оборудование для реализации физико-химических процессов фотолитографии на пластинах и в производстве фотошаблонов , от ручных и полуавтоматических установок до автоматизированных и роботизированных трековых линий и кластеров .
Автоматические фотолитографические кластеры предназначены для проведения операций по формированию слоя резиста перед экспонированием и операций проявления и задубливания резиста после экспонирования . Применение кластерной платформы в оборудовании проведения физико-химических процессов фотолитографии полностью отвечает современным концепциям построения оборудования такого класса . Стоит отметить, что и автоматизированные линии фотолитографии, построенные на трековой платформе, изготавливаемые НИИПМ в последние годы, успешно работают на предприятиях отрасли, обеспечивая высокое качество продукции и производительность.

 

Справка о компании Подробнее>>>

 

Контатная информация:
394033 Россия, г. Воронеж, Ленинский проспект, 160 а
+7 (473) 250-25-81, 223-20-46, 223-04-57
E-mail: nto-niipm@mail.ru, vrn@vniipm.ru
Сайт: www.vniipm.ru